特許
J-GLOBAL ID：200903070614101036

露光装置及び該装置を用いたデバイス製造方法

発明者：
森 鉄也

森 鉄也 について

, 
刑部 祐一

刑部 祐一 について

, 
西川 忠康

西川 忠康 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-316726
公開番号（公開出願番号）：特開2005-085991
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 高い結像性能を簡易な構成で実現する走査型露光装置を提供する。【解決手段】 原版を保持する原版ステージと、前記原版からの光を被露光体に導く投影光学系とを有する露光装置において、前記原版の複数の点において、前記投影光学系の光軸方向の位置を検出する検出光学系を有しており、前記原版ステージを囲む空間と、前記検出光学系の少なくとも一部を囲む空間とが互いに異なることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
原版を保持する原版ステージと、前記原版からの光を被露光体に導く投影光学系とを有する露光装置において、 前記原版の複数の点において、前記投影光学系の光軸方向の位置を検出する検出光学系を有しており、 前記原版ステージを囲む空間と、前記検出光学系の少なくとも一部を囲む空間とが互いに異なることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G03F7/20
FI (6件)：
H01L21/30 516A ,  G01B11/00 B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 518 ,  H01L21/30 526B ,  G01B11/24 A
Fターム (31件)：
2F065AA02 ,  2F065AA20 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065DD02 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG07 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC04
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213459   出願人：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057087   出願人：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-252528   出願人：株式会社ニコン
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審査官引用 (7件)
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