特許
J-GLOBAL ID：200903071999055567
光モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108871
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 光モジュールにおいて、上述の様な複雑な構造を用いずに光導波路と光素子活性層の高さを一致させることの可能な構造を提供する。【解決手段】 表面が平坦なシリコン基板1と、シリコン基板上に形成した光導波路2と、シリコン基板上に光導波路のクラッド部分を除去して形成した光素子搭載部4と、光素子搭載部上に形成した絶縁層(パッシベーション膜)5と、光導波路と光学的に結合されるように絶縁層5を介して光素子搭載部4に搭載した光素子7と有する光モジュールである。絶縁層5の厚さは光導波路のコア2-2と光素子の活性層7-1の中心の高さとが一致するように調整される。光導波路の端面と光素子の端面2-3の間に光素子の作動光波長において透明な樹脂8を介在させる。
請求項（抜粋）：
表面が平坦なシリコン基板と、前記シリコン基板上に形成した光導波路と、前記シリコン基板上に前記光導波路のクラッド部分を除去して形成した光素子搭載部と、前記光素子搭載部上に形成した絶縁層と、前記光導波路と光学的に結合されるように前記絶縁層を介して前記光素子搭載部に搭載した光素子とを有することを特徴とする光モジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2H037BA02
, 2H037CA34
, 2H037DA03
, 2H037DA06
, 2H037DA11
, 2H037DA18
, 2H047KA03
, 2H047KA15
, 2H047MA07
, 2H047QA02
, 2H047QA05
, 2H047TA43
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (6件)
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