特許
J-GLOBAL ID：200903073488018283

大型超精密ELID非球面加工装置

発明者：
大森 整

大森 整 について

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山形 豊

山形 豊 について

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守安 精

守安 精 について

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林 偉民

林 偉民 について

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森田 晋也

森田 晋也 について


出願人/特許権者：
理化学研究所

理化学研究所 について


代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123634
公開番号（公開出願番号）：特開2001-300838
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：
【要約】【課題】 加工抵抗による変形や熱膨張の影響を最小限に抑えてワークと工具の相対位置を高精度に保持することができ、かつワークの取外し/取付けを行うことなく、機上でポリッシング及び形状計測が可能であり、大型超精密X線ミラー等を高精度かつ優れた表面粗さに高能率に加工することができる大型超精密ELID非球面加工装置を提供する。【解決手段】 水平な上面を有するX軸方向に細長いマシーンベット12と、マシーンベット上に取り付けられ上面にワーク4を固定してX軸方向にNC制御可能なX軸テーブル14と、X軸テーブルを跨いでX軸に直交する水平なY軸方向に延び両脚部がマシーンベットに固定された門型固定コラム16と、門型固定コラム上に取り付けられY軸方向にNC制御可能なY軸ステージ18と、Y軸ステージに吊り下げられ鉛直なZ軸方向にNC制御可能なZ軸コラム20と、Z軸コラムに取り付けられたELID研削装置22、ポリッシング装置24及び形状計測装置26とを備えた。
請求項（抜粋）：
水平な上面を有するX軸方向に細長いマシーンベット(12)と、該マシーンベット上に取り付けられ上面にワーク(4)を固定してX軸方向にNC制御可能なX軸テーブル(14)と、該X軸テーブルを跨いでX軸に直交する水平なY軸方向に延び両脚部がマシーンベットに固定された門型固定コラム(16)と、該門型固定コラム上に取り付けられY軸方向にNC制御可能なY軸ステージ(18)と、該Y軸ステージに吊り下げられ鉛直なZ軸方向にNC制御可能なZ軸コラム(20)と、該Z軸コラムに取り付けられたELID研削装置(22)、ポリッシング装置(24)及び形状計測装置(26)とを備えた、ことを特徴とする大型超精密ELID非球面加工装置。
IPC (5件)：
B24B 13/00 ,  B23H 5/00 ,  B23Q 11/12 ,  B23Q 17/20 ,  B24B 53/00
FI (5件)：
B24B 13/00 A ,  B23H 5/00 J ,  B23Q 11/12 D ,  B23Q 17/20 A ,  B24B 53/00 D
Fターム (17件)：
3C029BB01 ,  3C047AA13 ,  3C047AA25 ,  3C047AA27 ,  3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AC02 ,  3C049BA01 ,  3C049BA07 ,  3C049BB06 ,  3C049BB09 ,  3C049CA02 ,  3C049CB01 ,  3C059AA02 ,  3C059AB01 ,  3C059GC01 ,  3C059HA08
引用特許：
審査官引用 (15件)
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