特許
J-GLOBAL ID：200903074692829130
元素マッピング装置,走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-153192
公開番号（公開出願番号）：特開2004-265879
出願日： 2004年05月24日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】 元素マッピング像が簡便に得られる元素マッピング装置を提供する。【解決手段】 走査透過型電子顕微鏡装置で分析対象物(5)を透過した電子線は元素マッピング装置に入射する。透過電子線は電子分光装置(11)でエネルギー分光され、電子エネルギー損失スペクトルが得られる。各元素の加速電圧データや2ウィンドウ法等に用いるウィンドウ情報が予めデータベース(24)に用意されており、分析対象の元素が変更されても2次元元素分布像がすぐに確かめられる。また、分光装置への入射電子線はすべて物点(10)を通るので、収差歪みを小さくでき、エネルギー安定性がよい。よって、エネルギー損失スペクトルのドリフトが小さくなり、精度のよい元素分布を得ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
分析対象物を透過した電子線のエネルギースペクトルおよび分析対象物における電子線の照射位置に基づいて、分析対象物に含まれる元素の分布像を作成する元素マッピング装置において、
前記分析対象物を透過した前記電子線を加速する加速器と、
前記分析対象物を透過した前記電子線のエネルギー分光を行う電子分光器と、
分光された前記電子線の強度を検出する電子線検出器と、
分析対象の元素に対応した特定のエネルギーを損失した電子線が、前記電子線検出器の定位置に入射するように前記加速管を制御し、
検出された前記電子線の強度のうち、予め定められたエネルギー範囲の電子線の強度に基づいて、分析対象の元素を検出する制御装置とを備えることを特徴とする元素マッピング装置。
IPC (3件)：
H01J37/28
, G01B15/02
, G01N23/04
H01J37/28 C
, G01B15/02 B
, G01N23/04
2F067AA28
, 2F067EE05
, 2F067EE10
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK06
, 2F067RR35
, 2F067SS13
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA12
, 2G001BA18
, 2G001BA30
, 2G001CA03
, 2G001DA01
, 2G001DA06
, 2G001DA08
, 2G001EA05
, 2G001FA01
, 2G001FA06
, 2G001FA09
, 2G001FA14
, 2G001FA16
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001GA09
, 2G001GA19
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA05
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001KA11
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA03
, 2G001NA07
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001NA20
, 5C033SS03
, 5C033SS04
, 5C033SS07
, 5C033SS08
出願人引用 (13件)
-
米国特許第4,743,756号公報
-
分析電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-165719
出願人：株式会社日立製作所
-
電子エネルギー損失同時検知器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-165720
出願人：株式会社日立製作所
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審査官引用 (11件)
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