樹脂シートの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-057468
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230166
出願日： 2006年03月03日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】モールドより、大面積で、微細で高アスペクト比の構造を転写する樹脂シートの製造方法を提供する。【解決手段】液状組成物をインクジェット方式の微少ノズルから微小液滴として微細な凹凸形状が設けられたモールドに吐出して塗布する工程と、液状組成物を乾燥もしくは重合により硬化して樹脂膜を形成する工程と、樹脂膜をモールドから離型する工程とを備えることを特徴とする樹脂シートの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液状組成物をインクジェット方式の微少ノズルから微小液滴として微細な凹凸形状が設けられたモールドに吐出して塗布する工程と、液状組成物を乾燥もしくは重合により硬化して樹脂膜を形成する工程と、樹脂膜をモールドから離型する工程とを備えることを特徴とする樹脂シートの製造方法。

IPC (2件)：

B29C 39/02 , H01L 21/027

FI (2件)：

B29C39/02 , H01L21/30 502D

Fターム (20件)：

4F204AA43 , 4F204AA44 , 4F204AD05 , 4F204AF01 , 4F204AG01 , 4F204AG03 , 4F204AH73 , 4F204AJ06 , 4F204EA03 , 4F204EA04 , 4F204EB01 , 4F204EB11 , 4F204EB24 , 4F204EB29 , 4F204EF01 , 4F204EF25 , 4F204EK17 , 4F204EK18 , 4F204EK24 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (5件)

記録媒体およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-258959 出願人：日本電信電話株式会社
パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-385458 出願人：松下電器産業株式会社
米国特許第5,259,926号明細書

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審査官引用 (10件)

表面凹凸部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-241067 出願人：株式会社クラレ
インプリントリソグラフィ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-336452 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
多重浮彫要素スタンプと選択的付加圧力を利用したUVナノインプリントリソグラフィ法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-569953 出願人：コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ

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