特許
J-GLOBAL ID:200903078420229300
電子部品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森岡 正樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-333108
公開番号(公開出願番号):特開2007-142109
出願日: 2005年11月17日
公開日(公表日): 2007年06月07日
要約:
【課題】本発明は、コンデンサを有する電子部品に関し、エレクトロマイグレーションの発生を防止でき、かつコンデンサ素子の容量値の精度が高い電子部品を提供することを目的とする。【解決手段】電子部品1は、基板51上に形成された下部導体21と、下部導体21を覆って形成された誘電体膜31と、誘電体膜31上に形成された有機絶縁膜33と、下部導体21上の有機絶縁膜33を開口した開口部33bに形成され、下部導体21と誘電体膜31とでコンデンサ素子11を構成する上部導体23とを有している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に形成された第1導体と、
前記第1導体を覆って形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成された有機絶縁膜と、
前記第1導体上の前記有機絶縁膜を開口した開口部に形成され、前記第1導体と前記誘電体膜とで容量を構成する第2導体と
を有することを特徴とする電子部品。
IPC (4件):
H01G 4/33
, H01G 4/40
, H03H 5/02
, H03H 7/075
FI (4件):
H01G4/06 102
, H01G4/40 321A
, H03H5/02
, H03H7/075 A
Fターム (25件):
5E082AB01
, 5E082BB01
, 5E082BB07
, 5E082BC35
, 5E082DD07
, 5E082EE05
, 5E082EE37
, 5E082FF05
, 5E082FG03
, 5E082FG26
, 5E082MM22
, 5E082MM23
, 5E082MM24
, 5J024AA01
, 5J024AA10
, 5J024BA04
, 5J024CA01
, 5J024CA02
, 5J024CA03
, 5J024CA04
, 5J024DA04
, 5J024DA29
, 5J024DA35
, 5J024EA01
, 5J024EA02
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
薄膜キャパシタ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-202394
出願人:アルプス電気株式会社
-
電子回路基板
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-216223
出願人:アルプス電気株式会社
-
薄膜キャパシタ素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-201036
出願人:アルプス電気株式会社
-
特許第3193973号公報
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審査官引用 (10件)
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