特許
J-GLOBAL ID：200903081532340913

2次元位置決め装置

発明者：
小宮 剛彦

小宮 剛彦 について

, 
加来 靖彦

加来 靖彦 について

, 
渡邉 寛治

渡邉 寛治 について

, 
大須賀 俊之

大須賀 俊之 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-071993
公開番号（公開出願番号）：特開2006-252484
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】XYθ方向の移動に複数の電動機を用いる2次元位置決め装置を精度良く動作できる様にする。【解決手段】2つの並進自由度部11、12と、1つの回転自由度部13を有する複数の並進回転機構6と、電動機1と、制御器3と、動作量検出手段2と、指令手段8と、機台部を備えた2次元位置決め装置において、機構部の機械的ギャップを無くするため任意の駆動力が常に働く様に複数の制御器の駆動力のバランスを調整する駆動力を演算する、又は、指令手段の位置指令から求めた加速度と、各電動機に関わる負荷とに基づき各電動機に対して慣性補償する、駆動力補正手段15を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
2つの並進自由度部と1つの回転自由度部を有する複数の並進回転機構と、前記並進回転機構に搭載する電動機と、前記電動機を制御する制御器と、被検出体となる前記電動機または前記並進回転機構の動作量を検出する動作量検出手段と、前記制御器を指令する指令手段と、前記並進回転機構を配置する機台部と、を備え、複数の前記電動機を駆動することでテーブルを並進および回転移動して、対象物を所定の位置に位置決めする2次元位置決め装置において、 複数の前記制御器の駆動力を検出して、前記並進回転機構、その他の機構部の機械的ギャップを無くすために任意の駆動力が常に働くように複数の前記制御器の駆動力のバランスを調整する駆動力を演算する駆動力補正手段を備え、前記指令手段は、前記駆動力補正手段の出力を、各々の前記制御器の駆動力の出力に加えてフィードフォワード制御することを特徴とする2次元位置決め装置。
IPC (2件)：
G05D 3/00 ,  H02P 5/00
FI (2件)：
G05D3/00 Q ,  H02P7/67 E
Fターム (19件)：
5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303BB17 ,  5H303DD04 ,  5H303KK27 ,  5H572AA14 ,  5H572BB06 ,  5H572DD01 ,  5H572EE04 ,  5H572FF01 ,  5H572FF03 ,  5H572GG01 ,  5H572GG10 ,  5H572JJ03 ,  5H572KK05 ,  5H572LL33 ,  5H572LL43
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (11件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM