特許
J-GLOBAL ID：200903082702716812

マスク検査装置

発明者：
武久 究

武久 究 について

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楠瀬 治彦

楠瀬 治彦 について

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粟村 直樹

粟村 直樹 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-350157
公開番号（公開出願番号）：特開2008-134214
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】高分解能のマスク検査装置を提供すること。【解決手段】本発明のマスク検査装置100では、マスク108のパターン面108cの裏面側に対物レンズ112を配置した構成になっているため、パターン面108cと、対物レンズ112との間に、空気層を形成させることなく、屈折率約1.44の純水114と屈折率約1.56のマスク基板108aだけであるため、液浸光学系を形成できる。これによって、同じ検査波長を用いた場合であっても、従来のマスク検査装置に比べ、分解能を向上することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスク基板に設けられたパターンを観察して、マスクを検査するマスク検査装置であって、 対物レンズを有し、 前記対物レンズの前記マスク側の最端レンズと前記マスクとの間が液体で満たされているマスク検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G03F 1/16 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G03F1/16 F ,  H01L21/30 502P
Fターム (15件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051BA10 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051CC15 ,  2G051DA07 ,  2H095BA02 ,  2H095BD02 ,  2H095BD03 ,  2H095BD13 ,  2H095BD20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (12件)
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