型成形工具

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：酒井正己 , 加々美紀雄 , 小松純 , 小松秀岳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-350187
公開番号（公開出願番号）：特開2007-157962
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】型成形工具の摩耗を抑制し、特に石英等の既存の直接プリント法ではパターン形成が難しいような被加工物に対して、モールドを消耗、破壊させることなく、形状転写性良くパターン形状を作製することが可能なモールドを提供する。【解決手段】被加工物に対して凹凸形状を転写するための型成形工具であって、前記型成形工具の被加工物に接触する部分が凹凸形状を有するダイヤモンドからなる型成形工具を提供する。また前記型成形工具が、補助基体上にダイヤモンドが形成された2層以上の複合体構造であることが好ましく、さらに前記型成形工具が、5〜100μmの波長域における光の透過率が30%以上であることが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

被加工物に対して凹凸形状を転写するための型成形工具であって、該型成形工具の被加工物に接触する部分が凹凸形状を有するダイヤモンドから形成されてなることを特徴とする型成形工具。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , C23C 16/01

FI (2件)：

H01L21/30 502D , C23C16/01

Fターム (16件)：

4F202AF01 , 4F202AG01 , 4F202AG05 , 4F202AH73 , 4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202AJ14 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CD07 , 4F202CD23 , 4F202CD30 , 4K030BA28 , 4K030DA08 , 4K030LA21 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

赤外レーザ用反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-001661 出願人：住友電気工業株式会社

審査官引用 (22件)

レーザを利用したダイレクトインプリントリソグラフィ
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-577316 出願人：プリンストンユニヴァーシティ
微細構造の転写方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-273577 出願人：住友電気工業株式会社
型
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-338047 出願人：株式会社神戸製鋼所

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