特許
J-GLOBAL ID:200903094209271257
セラミックス部材及びその製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
中村 友之
, 三好 秀和
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
, 鈴木 壯兵衞
, 高久 浩一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-090236
公開番号(公開出願番号):特開2006-273586
出願日: 2005年03月25日
公開日(公表日): 2006年10月12日
要約:
【課題】優れた均熱性を有するセラミックス部材を提供する。【解決手段】セラミックス部材10は、セラミックス焼結体11と、セラミックス焼結体11に接して形成された、金属元素を含む金属部材12とを備える。セラミックス焼結体11における金属部材12周辺の変質層11aの厚さtは300μm以下に抑えられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
セラミックス焼結体と、
該セラミックス焼結体に接して形成された、金属元素を含む金属部材と
を備えるセラミックス部材であって、
前記セラミックス焼結体における前記金属部材周辺の変質層の厚さが300μm以下であることを特徴とするセラミックス部材。
IPC (8件):
C04B 41/88
, H01L 21/02
, H01L 21/683
, H05B 3/10
, H05B 3/20
, H05B 3/74
, C04B 35/581
, C04B 35/64
FI (8件):
C04B41/88 C
, H01L21/02 Z
, H01L21/68 R
, H05B3/10 C
, H05B3/20 393
, H05B3/74
, C04B35/58 104D
, C04B35/64 L
Fターム (43件):
3K034AA02
, 3K034AA08
, 3K034AA10
, 3K034AA15
, 3K034AA34
, 3K034BB06
, 3K034BB14
, 3K034BC17
, 3K034JA10
, 3K092PP20
, 3K092QA05
, 3K092QB31
, 3K092QB76
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF27
, 3K092VV22
, 4G001BA05
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA36
, 4G001BB05
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB36
, 4G001BC13
, 4G001BC17
, 4G001BC23
, 4G001BC42
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC55
, 4G001BD03
, 4G001BD23
, 4G001BD37
, 4G001BD38
, 4G001BE39
, 5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA16
, 5F031HA37
, 5F031PA11
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (11件)
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