フレキシブル高感度セラミックスセンサー

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-243053
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055116
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】機械的、熱的衝撃に対し、安定な高感度セラミックスセンサーを提供する。【解決手段】金属箔上に、圧電性セラミックス単結晶薄膜を形成させ、その表面に電極を付設し、金属箔と電極間に検出手段を介して電気回路を形成してなるフレキシブル高感度セラミックスセンサーとする。

請求項（抜粋）：

金属箔上に、圧電性セラミックス単結晶薄膜を形成させ、その表面に電極を付設し、金属箔と電極間に検出手段を介して電気回路を形成してなるフレキシブル高感度セラミックスセンサー。

IPC (7件)：

G01P 15/09 , C30B 29/16 , C30B 29/22 , C30B 29/38 , G01H 11/08 , H01L 41/08 , H01L 41/18

FI (7件)：

G01P 15/09 , C30B 29/16 , C30B 29/22 Z , C30B 29/38 C , G01H 11/08 Z , H01L 41/08 Z , H01L 41/18 101 A

Fターム (11件)：

2G064AA14 , 2G064AB23 , 2G064BD18 , 2G064BD67 , 2G064DD35 , 4G077AA03 , 4G077BB07 , 4G077BC32 , 4G077BE13 , 4G077DA11 , 4G077ED06

引用特許：

審査官引用 (12件)

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