特許
J-GLOBAL ID：201003066892869534

積層体、圧電素子、および液体吐出装置

発明者：
藤井 隆満

藤井 隆満 について

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新川 高見

新川 高見 について

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直野 崇幸

直野 崇幸 について

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菱沼 慶一

菱沼 慶一 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-207690
公開番号（公開出願番号）：特開2010-045152
出願日： 2008年08月12日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：
【課題】低抵抗性で耐熱性に優れ、表面凹凸が小さい低抵抗金属層を備える積層体、このような積層体上に形成され、膜質のバラツキや表面粗さの小さい高品質な圧電体層を備える圧電素子、およびこの圧電素子を用いた液体吐出装置を提供する。【解決手段】圧電素子10は、積層体30を用いるもので、基板12、熱酸化膜14、密着金属層16、金含有層18、密着金属層20、金属層22、圧電体層24、上部電極層26をこの順で積層した積層構造を有する。密着金属層16、金含有層18、密着金属層20および金属層22は、電極層、特に、下部電極層として用いられる低抵抗金属層28を構成し、基板12、熱酸化膜14および低抵抗金属層28は、積層体30を構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成される単層または2層以上の積層構造である低抵抗金属層とを有する積層体であって、 前記低抵抗金属層は、金と他の金属とからなる金含有層を備えることを特徴とする積層体。
IPC (10件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C23C 14/06
FI (10件)：
H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L27/10 444C ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  C23C14/06 N
Fターム (39件)：
2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AM16 ,  2C057AN05 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA02 ,  4K029BA13 ,  4K029BA21 ,  4K029BA22 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC35 ,  5F083FR00 ,  5F083GA11 ,  5F083GA27 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083PR05 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (9件)
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