特許
J-GLOBAL ID：201003079163964130
重合体および感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-305615
公開番号（公開出願番号）：特開2010-126696
出願日： 2008年11月28日
公開日（公表日）： 2010年06月10日
要約：
【課題】解像性能に優れるだけでなく、LWRが小さく、パターン倒れ耐性に優れ、且つ、欠陥性にも優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物およびこの感放射線性樹脂組成物に樹脂成分として使用できる重合体を提供する。【解決手段】樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含有する感放射線性樹脂組成物。樹脂(A)が、ノルボルナンラクトンを末端に有するオキシアルキレン基で置換された(メタ)アクリル酸エステルに由来する特定の繰り返し単位(a-1)と、スルホンアミド基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する特定の繰り返し単位(a-2)と、酸解離性基を有する繰り返し単位(a-3)とを含む重合体である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、
前記樹脂(A)は、下記式(1)で表される繰り返し単位(a-1)と、下記式(2)で表される繰り返し単位(a-2)と、酸解離性基を有する繰り返し単位(a-3)とを含み、重量平均分子量が1000〜100000の重合体を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
C08F 220/28
, G03F 7/039
, H01L 21/027
, C08F 220/38
C08F220/28
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
, C08F220/38
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB14
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BF02
, 2H025BG00
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL26P
, 4J100AL26Q
, 4J100AL26R
, 4J100BA02P
, 4J100BA11P
, 4J100BA59Q
, 4J100BB18Q
, 4J100BC03R
, 4J100BC04R
, 4J100BC08Q
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC53P
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100JA38
