検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小池晃 , 田村榮一 , 伊賀誠司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352507
特許番号：特許第4332933号
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検査物を支持するとともに当該被検査物を所定の検査対象位置へと移動させる被検査物支持手段と、上記被検査物支持手段によって支持された上記被検査物を可視光により照明する可視光照明手段と、上記可視光照明手段により照明された上記被検査物からの反射光又は透過光を検出して上記被検査物の画像を撮像する可視光撮像手段と、上記被検査物支持手段によって支持された上記被検査物を紫外光により照明する紫外光照明手段と、上記紫外光照明手段により照明された上記被検査物からの反射光又は透過光を検出して被検査物の画像を撮像する紫外光撮像手段と、上記可視光撮像手段又は上記紫外光撮像手段により撮像された画像を処理して解析することにより上記被検査物の検査を行う画像処理手段とを備え、上記画像処理手段は、上記被検査物の検査において、上記被検査物の欠陥の検出処理を行い、欠陥が検出された場合には当該欠陥の分類処理を行い、上記可視光撮像手段及び上記紫外光撮像手段のうちの一方の撮像手段により撮像された画像を処理して解析することにより、上記被検査物の欠陥の分類分けができた場合には当該分類分けによる分類結果を出力し、上記被検査物の欠陥の分類分けができなかった場合には上記可視光撮像手段及び上記紫外光撮像手段のうちの他方の撮像手段により撮像された上記被検査物の画像を処理して解析することにより上記被検査物の検査を更に行う検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ( 200 6.01) , G01B 11/30 ( 200 6.01) , G01M 11/00 ( 200 6.01) , G01N 21/88 ( 200 6.01) , H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01B 11/24 F , G01B 11/30 A , G01M 11/00 T , G01N 21/88 J , H01L 21/66 J

引用特許：

出願人引用 (23件)

特開平4-165641
特表昭62-502217
特開平2-073141

全件表示

審査官引用 (23件)

特開平4-165641
特開平4-165641
特表昭62-502217

全件表示

前のページに戻る