特許
J-GLOBAL ID：201103061428379503
音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-076503
公開番号（公開出願番号）：特開2011-211452
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】 振動腕の表裏面から股部又は溝部の基部側の端面への角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 音叉型水晶振動片(10A)の製造方法は水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布しレジストを露光して基部(11)と振動腕(12A)と溝部(13A)とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、基部と振動腕と溝部とに対応する領域の以外の耐食膜をエッチングし且つ水晶材をエッチングして音叉型水晶振動片の外形を形成する第1エッチング工程と、水晶材に残っている耐食膜およびレジストを除去する除去工程と、除去工程後に水晶材をエッチング剤に浸漬して、一対の振動腕と基部との間に形成される第1股部(14A)又は溝部の基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第2エッチング工程と、を備える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
水晶材からなり、表裏面を有する基部と、その基部からY軸方向に伸びる一対の振動腕と、前記一対の振動腕の表裏面に前記Y軸方向に伸びる溝部とを有する音叉型水晶振動片の製造方法において、
前記水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布し、前記レジストを露光して前記基部と前記振動腕と前記溝部とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、
前記基部と前記振動腕と前記溝部とに対応する領域の以外の前記耐食膜をエッチングし且つ前記水晶材をエッチングして、前記音叉型水晶振動片の外形を形成する第1エッチング工程と、
前記水晶材に残っている前記耐食膜および前記レジストを除去する除去工程と、
前記除去工程後に、前記水晶材をエッチング剤に浸漬して、前記一対の振動腕と前記基部との間に形成される第1股部又は前記溝部の前記基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第2エッチング工程と、
を備える音叉型水晶振動片の製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
H03H3/02 B
, H03H9/19 J
, H03H9/215
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 Z
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG07
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108GG17
, 5J108KK01
, 5J108KK07
, 5J108MM08
, 5J108MM11
