特許
J-GLOBAL ID：201103092268549043
電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-201569
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054716
出願日： 2009年09月01日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】簡素化した工程で選択的にパターン化可能な電気機械変換素子の製造方法と、その製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】電気機械変換素子の製造方法は、下部電極としてのアモルファス酸化物電極膜12上に電気機械変換層になるゾルゲル液を塗布する工程と、塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解後に部分的にレーザを照射し、アモルファス酸化物電極膜12とゾルゲル熱分解膜14の両者を結晶化させる工程と、未照射部の非結晶のゾルゲル熱分解膜13をエッチングして除去する工程と、未照射部のアモルファス酸化物電極膜12をエッチングして除去する工程と、電気機械変換層14の特性回復と残部のアモルファス酸化物電極膜12の結晶化のための熱処理を行う工程と、上部電極を積層する工程とを有している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電気機械変換素子を製造する方法において、
下部電極としてのアモルファス酸化物電極膜上に電気機械変換層になるゾルゲル液を塗布する工程と、
塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解後に部分的にレーザを照射し、前記アモルファス酸化物電極膜とゾルゲル熱分解膜の両者を結晶化させる工程と、
未照射部の非結晶のゾルゲル熱分解膜をエッチングして除去する工程と、
未照射部の前記アモルファス酸化物電極膜をエッチングして除去する工程と、
前記電気機械変換層の特性回復と残部の前記アモルファス酸化物電極膜の結晶化のための熱処理を行う工程と、
上部電極を積層する工程とを有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 41/22
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/24
, B41J 2/16
H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP23
, 2C057AP52
, 2C057AP57
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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