特許
J-GLOBAL ID：201403028711641715
インプリント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
, 平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-232654
公開番号（公開出願番号）：特開2014-064022
出願日： 2013年11月11日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：
【課題】モールドの破損や歩留まりの低下を防止するインプリント装置を提供する。【解決手段】基板上の樹脂を型で成形して前記樹脂から離型することによってパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、前記基板上に前記樹脂を滴下して供給する樹脂供給部と、前記樹脂供給部が供給した前記基板上の前記樹脂の複数の液滴それぞれの存在する領域を前記成形の前に検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記領域が異常であると判断した場合にエラー処理を行う制御部と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上の樹脂を型で成形して前記樹脂から離型することによってパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、
前記基板上に前記樹脂を滴下して供給する樹脂供給部と、
前記樹脂供給部が供給した前記基板上の前記樹脂の複数の液滴それぞれの存在する領域を前記成形の前に検出する検出部と、
前記検出部による検出結果に基づいて前記領域が異常であると判断した場合にエラー処理を行う制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AM32
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4F209PN13
, 5F146AA31
, 5F146AA33
, 5F146DA29
