特許
J-GLOBAL ID：201503009688695075

感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体及びレジストパターン形成方法

発明者：
小坂 隼也

小坂 隼也 について

, 
落合 真彦

落合 真彦 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-028651
公開番号（公開出願番号）：特開2015-152854
出願日： 2014年02月18日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：
【課題】エッチング残渣又はめっき載り不良を抑制できる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)アルカリ可溶性高分子;(B)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物;及び (C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、銅基板に前記感光性樹脂組成物をラミネートし、60°Cで加熱し、次いで最小現像時間の1.2倍で現像したときに、現像残渣が出るのに要する加熱時間が、7時間以上である、前記感光性樹脂組成物が提供される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性高分子; (B)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物;及び (C)光重合開始剤; を含む感光性樹脂組成物であって、 銅基板に前記感光性樹脂組成物をラミネートし、60°Cで加熱し、次いで最小現像時間の1.2倍で現像したときに、現像残渣が出るのに要する加熱時間が、7時間以上である、 前記感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/28 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/031 ,  H05K3/28 D ,  H01L21/30 502R
Fターム (38件)：
2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC35 ,  2H125AC63 ,  2H125AD00 ,  2H125AD09 ,  2H125AE15P ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM67P ,  2H125AN02P ,  2H125AN03P ,  2H125AN66P ,  2H125AN72P ,  2H125AN75P ,  2H125AN80P ,  2H125AN87P ,  2H125AN89P ,  2H125BA09P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125BA22P ,  2H125CA13 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314BB02 ,  5E314BB11 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314EE03 ,  5E314EE09 ,  5E314FF03 ,  5E314FF19 ,  5E314GG11
引用特許：
審査官引用 (18件)
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