被膜形成用組成物およびそれを用いた被膜形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：勝沼宏仁 , 中村行孝 , 前川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-192148
公開番号（公開出願番号）：特開2015-059144
出願日： 2013年09月17日
公開日（公表日）： 2015年03月30日
要約：

【課題】ガスバリア性能に優れた被膜を形成することができる被膜形成用組成物と被膜形成方法の提供。【解決手段】水酸基またはカルボキシル基を含まないポリシロキサンと、ポリシラザンと、有機溶剤とを含んでなることを特徴とする被膜形成用組成物と、その組成物を基板に塗布し、露光することを含んでなる被膜形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1):

IPC (4件)：

C09D 183/04 , C09D 183/14 , C09D 183/16 , C08J 7/04

FI (4件)：

C09D183/04 , C09D183/14 , C09D183/16 , C08J7/04 P

Fターム (16件)：

4F006AA35 , 4F006AB39 , 4F006BA05 , 4F006CA08 , 4F006DA04 , 4F006EA03 , 4J038DL031 , 4J038DL081 , 4J038DL171 , 4J038MA07 , 4J038MA09 , 4J038NA08 , 4J038PA17 , 4J038PA18 , 4J038PB08 , 4J038PB09

引用特許：

審査官引用 (14件)

シリカ系被膜形成用塗布液、シリカ系被膜形成用塗布液の製造方法、シリカ系被膜及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-322229 出願人：日立化成工業株式会社
SiO2 被覆プラスチックフィルム及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-249374 出願人：東燃株式会社
シリカ系被膜形成用塗布液および被膜付基材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-227116 出願人：触媒化成工業株式会社

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