インプリント方法およびインプリント用硬化性組成物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242001
公開番号（公開出願番号）：特開2015-099899
出願日： 2013年11月22日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：

【課題】硬化後のパターンの表面粗さやパターン収縮を低減しつつ、離型力が低減できるインプリント用硬化性組成物およびそれを用いたインプリント方法を提供する。【解決手段】凝縮性ガス雰囲気下でインプリントを行うためのインプリント用硬化性組成物であって、最大凝縮性ガス溶解度(ガス/(硬化性組成物+ガス))(g/g)が0.1以上0.4以下であることを満たし、かつ、23°Cにおける粘度が40cP以下であることを特徴とするインプリント用硬化性組成物。但し、最大凝縮性ガス溶解度は、硬化性組成物3gを9ml用茶褐色瓶に入れ、23°C、1気圧において、凝縮性ガスを0.1L/minの流量で15分間バブリングした前後の重量を測定した際、その前後で増加した増加重量をバブリングした後の全重量で除したものである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

凝縮性ガス雰囲気下でインプリントを行うためのインプリント用硬化性組成物であって、最大凝縮性ガス溶解度(ガス/(硬化性組成物+ガス))(g/g)が0.1以上0.4以下であることを満たし、かつ、23°Cにおける粘度が40cP以下であることを特徴とするインプリント用硬化性組成物。但し、最大凝縮性ガス溶解度は、硬化性組成物3gを9ml用茶褐色瓶に入れ、23°C、1気圧において、凝縮性ガスを0.1L/minの流量で15分間バブリングした前後の重量を測定した際、その前後で増加した増加重量をバブリングした後の全重量で除したものである。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , B29C 59/02

FI (2件)：

H01L21/30 502D , B29C59/02 Z

Fターム (15件)：

4F209AA43C , 4F209AA44C , 4F209AB04 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AM30 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PH02 , 4F209PH30 , 4F209PN07 , 4F209PN09 , 5F146AA33 , 5F146AA34

引用特許：

審査官引用 (15件)

磁気記録媒体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-207045 出願人：株式会社東芝
光硬化性樹脂組成物及びパターン形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-004755 出願人：日立化成工業株式会社
インプリント装置、および、物品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-023516 出願人：キヤノン株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Morphological Changes in Ultraviolet-Nanoimprinted Resin Patterns Caused by Ultraviolet-Curable Resi

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