特許
J-GLOBAL ID：202103010794020961
チャンバコンポーネント用多層プラズマ腐食防護
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安齋 嘉章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-090417
公開番号（公開出願番号）：特開2018-190983
特許番号：特許第6976215号
出願日： 2018年05月09日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバコンポーネントであって、
本体内に表面と約1:1〜約300:1のアスペクト比を有する複数の高アスペクト比構成とを含む前記本体と、
前記表面と前記複数の高アスペクト比構成の壁の上にあるコンフォーマルな第1のプラズマ耐性層であって、 多孔率約0%で厚さ約100nm〜約1ミクロンを有する前記コンフォーマルな第1のプラズマ耐性層と、
前記表面の一領域で前記コンフォーマルな第1のプラズマ耐性層を覆うが、前記複数の高アスペクト比構成の前記壁では覆わない第2のプラズマ耐性層であって、多孔率1%未満で厚さ約1〜10ミクロンを有する前記第2のプラズマ耐性層を備えるチャンバコンポーネント。
IPC (7件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, C23C 16/40 ( 200 6.01)
, C23C 14/08 ( 200 6.01)
, C23C 14/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
H01L 21/302 101 L
, C23C 16/40
, C23C 14/08 K
, C23C 14/08 A
, C23C 14/00 B
, H01L 21/302 101 G
, H01L 21/205
, H01L 21/31 C
, H05H 1/46 A
