特許
J-GLOBAL ID：201303056378546862
半導体用途用の溶射複合コーティング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人浅村特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-519815
公開番号（公開出願番号）：特表2013-532770
出願日： 2011年07月14日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：
本発明は、金属又は非金属基板上の溶射複合コーティングに関する。溶射複合コーティングは、セラミック複合コーティング全体にわたり不規則且つ一様に分散した及び/又は空間的に配向した少なくとも2種のセラミック材料相を有するセラミック複合コーティングを備える。少なくとも第1のセラミック材料相は、セラミック複合コーティングに耐腐食性を提供するのに十分な量で存在し、少なくとも第2のセラミック材料相は、セラミック複合コーティングに耐プラズマ浸食性を提供するのに十分な量で存在する。本発明はまた、溶射コーティングを施すことにより金属及び非金属基板を保護する方法に関する。複合コーティングは、半導体エッチング産業において使用される従来の処理温度より高い処理温度、例えば100°Cを超える処理温度における、耐浸食性及び耐腐食性を提供する。コーティングは、例えば、半導体製造機器の保護において、例えば集積回路、発光ダイオード、ディスプレイ、及び光電池、内部チャンバー部品、並びに静電チャック製造に有用である。
請求項（抜粋）：
金属又は非金属基板上の溶射複合コーティングであって、前記溶射コーティングは、セラミック複合コーティング全体にわたり不規則且つ一様に分散した及び/又は前記セラミック複合コーティング全体にわたり空間的に配向した少なくとも2種のセラミック材料相を有する前記セラミック複合コーティングを含み、少なくとも第1のセラミック材料相は、前記セラミック複合コーティングに耐腐食性を提供するのに十分な量で存在し、少なくとも第2のセラミック材料相は、前記セラミック複合コーティングに耐プラズマ浸食性を提供するのに十分な量で存在する、前記溶射複合コーティング。
IPC (3件)：
C23C 4/10
, C23C 4/12
, H01L 21/306
C23C4/10
, C23C4/12
, H01L21/302 101G
4K031AA08
, 4K031AB03
, 4K031AB09
, 4K031CB10
, 4K031CB14
, 4K031CB15
, 4K031CB42
, 4K031CB49
, 4K031DA01
, 4K031DA04
, 4K031EA07
, 4K031EA10
, 5F004AA15
, 5F004BB29
, 5F004DA01
, 5F004DA26
