特許
J-GLOBAL ID：202103017482106642
サセプタの位置付け及び回転装置、並びに使用の方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-563068
特許番号：特許第6802191号
出願日： 2016年05月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 サセプタアセンブリであって、
サセプタを支持し得るシャフト、並びに
底部プレートと、上部プレートと、前記底部プレートと前記上部プレートとの間で、前記底部プレート及び前記上部プレートと接触するように位置付けされた少なくとも3つのアクチュエータとを備えている位置付けシステムを備え、
前記アクチュエータのそれぞれが、本体、及び前記本体の内部に位置付けされた第1のロッド端部を備えたロッドを有し、各ロッドが、前記上部プレートを前記底部プレートに近づけるため又は前記底部プレートから遠ざけるために、前記本体の軸に沿って摺動可能に可動であり、
各アクチュエータが、前記上部プレートにあるv-ブロックと接触し、各v-ブロックが、前記上部プレートの中心に対して径方向に位置合わせされ且つ前記底部プレートに対向する溝を有し、それにより、前記ロッドの第2のロッド端部が前記溝の長さに沿って移動し得る、サセプタアセンブリ。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, C23C 16/458 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, C23C 16/458
, H01L 21/31 F
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (3件)
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