Research theme for competitive and other funds (9):
2017 - 2020 Development of High Performance Smart Composite Material with Enhancing Domain Density at the PZT/Magnetostrictive Interface for Designing Energy Harvesting, IoT Devices
2015 - 2017 Development of high density and accuracy tactile device using MEMS technology
2007 - 2011 Massive Parallel Electron Beam Lithography System
2004 - 2008 Development of In Vivo Local Measurement and Treatment System
2007 - 2008 ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング
2006 - 2007 インジウムはんだ薄膜を用いたMEMSパッケージング
2005 - 2006 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ
2005 - 2006 生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング
2004 - 2006 RF MEMS device based on micromachining