Pat
J-GLOBAL ID:200903005580631646
放射線硬化性組成物およびそれを用いた光導波路ならびに光導波路の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡辺 喜平 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000103716
Publication number (International publication number):2001288364
Application date: Apr. 05, 2000
Publication date: Oct. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 優れたパターン精度を有する放射線硬化性組成物、およびこのような放射線硬化性組成物を用いた光導波路ならびに光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】 下部クラッド層と、コア部分と、上部クラッド層とを含む光導波路において、下部クラッド層、コア部分および上部クラッド層の少なくとも一つが、下記(A)〜(C)成分を含有してなる放射線硬化性組成物の硬化物である。(A)一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物、その加水分解物およびその縮合物からなる群から選ばれる少なくとも1つの化合物(R1)pSi(X)4-p (1)[一般式(1)中、R1は、炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、およびpは0〜3の整数である。](B)光酸発生剤(C)酸拡散制御剤
Claim (excerpt):
下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする放射線硬化性組成物。(A)一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物、その加水分解物およびその縮合物からなる群から選ばれる少なくとも1つの化合物(R1)pSi(X)4-p (1)[一般式(1)中、R1は、炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、およびpは0〜3の整数である。](B)光酸発生剤(C)酸拡散制御剤
IPC (4):
C08L 83/04
, C08K 5/17
, G02B 6/12
, G02B 6/13
FI (4):
C08L 83/04
, C08K 5/17
, G02B 6/12 N
, G02B 6/12 M
F-Term (35):
2H047KA03
, 2H047KA05
, 2H047KB01
, 2H047PA02
, 2H047PA22
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047RA08
, 2H047TA31
, 4J002CP031
, 4J002CP081
, 4J002EE038
, 4J002EF128
, 4J002EH038
, 4J002EL059
, 4J002EL069
, 4J002EL148
, 4J002EN027
, 4J002EN067
, 4J002EN107
, 4J002EN136
, 4J002EP017
, 4J002EV236
, 4J002EV246
, 4J002EV296
, 4J002EV309
, 4J002EW176
, 4J002EY016
, 4J002EY026
, 4J002EZ006
, 4J002FD206
, 4J002FD207
, 4J002FD208
, 4J002FD209
, 4J002GQ05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (17)
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珪素組成物、これを用いたパターン形成方法、および電子部品の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-063277
Applicant:株式会社東芝
-
光導波路の製造方法および光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-238406
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
硬化性樹脂組成物および反射防止膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-030170
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-162256
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
感放射線性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-228833
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
ポジ型シリコーン含有感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-143614
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
ジアゾジスルホン化合物および感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-139222
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
レジスト下層膜用組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-158672
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
感光性重合体、溶解抑制剤及びこれらを含む化学増幅型フォトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-134933
Applicant:三星電子株式会社
-
シリコン含有レジスト組成物およびその使用
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-023822
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ-ション
-
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-074718
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
光硬化性組成物および硬化膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-170885
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
硬化性組成物、硬化性金属酸化物粒子および硬化性金属酸化物粒子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-194817
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
酸化シリコン膜の形成方法およびパターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-157316
Applicant:沖電気工業株式会社
-
シリコーン樹脂組成物及びこれを用いたケイ酸ガラス薄膜の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-231004
Applicant:沖電気工業株式会社
-
光硬化性樹脂組成物および硬化膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-220750
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
コーティング用組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-303407
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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