Pat
J-GLOBAL ID：200903008409435811

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
本間 克則

About 本間 克則

, 
村松 宏

About 村松 宏

, 
江川 明

About 江川 明


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999057603
Publication number (International publication number)：2000258330
Application date： Mar. 04, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：
【要約】【課題】 水晶振動子などをプローブの変位検出に利用する走査型プローブ顕微鏡では、水晶振動子とプローブの接着という作業を必要とし、また、水晶振動子の固有振動数と、プローブ単体の固有振動数を一致もしくは接近させる必要があるため、利用できるプローブの種類に制約があった。【解決手段】 走査プローブ顕微鏡において、弾性体からなるプローブ101と、プローブ101を保持するための2つの弾性体、すなわち、第1の弾性体201と第2の弾性体206を有し、可撓性を有する第1の弾性体201と、第1の弾性体201よりコンプライアンスの小さい第2の弾性体206によりプローブ101を可撓自在に挟み、さらに第1の弾性体201またはプローブ101にPVDFなどの軽く柔らかい圧電ポリマ材料を形成することによって、プローブ101の固有振動数に左右されることなく振動特性変化を検出できるようにした。
Claim (excerpt)：
先鋭化された先端部を有するプローブと、前記プローブを振動させる振動体と、前記プローブの振動の振動特性変化を検出する変位検出手段と、試料を前記プローブに対して3次元的に走査するスキャナと、前記変位検出手段の変位信号を増幅もしくは変調し前記スキャナにフィードバックするフィードバック回路を有する走査型プローブ顕微鏡(SPM)において、弾性体からなるプローブと、前記プローブを保持する2つの弾性体、すなわち第1の弾性体と、第2の弾性体を有し、前記第1の弾性体と、前記第2の弾性体により前記プローブを可撓自在に挟み、さらに、前記第1の弾性体または前記プローブが圧電体を有することにより前記変位検出手段を構成することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/16 ,  G01B 11/30
FI (3)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 L ,  G01B 11/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (14)
Show all
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM