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J-GLOBAL ID:200903017671251909

故障検査装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  川端 純市
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007216141
Publication number (International publication number):2009047645
Application date: Aug. 22, 2007
Publication date: Mar. 05, 2009
Summary:
【課題】被検査回路の隣接信号線における信号変化の動的干渉によって論理値変化が生じる故障を従来技術に比較して高精度で検出する。【解決手段】複数の信号線を含む被検査回路の各信号線の故障を検査する故障検査装置において、上記被検査回路の検査対象の信号線において故障を仮定する故障信号線と、上記故障信号線から所定の範囲内にある少なくとも1つの隣接信号線との間のレイアウト情報、製造パラメータ情報及びタイミング情報に基づいて、上記故障信号線と上記各隣接信号線との間の所定の故障励起条件の適合結果を表す故障励起関数を用いて、上記故障信号線に関する故障励起関数の値を計算し、上記計算された故障励起関数の値に基づいて上記故障信号線において動的故障が励起したか否かを判断する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数の信号線を含む被検査回路の各信号線の故障を検査する故障検査装置において、 上記被検査回路の検査対象の信号線において故障を仮定する故障信号線と、上記故障信号線から所定の範囲内にある少なくとも1つの隣接信号線との間のレイアウト情報、製造パラメータ情報及びタイミング情報に基づいて、上記故障信号線と上記各隣接信号線との間の所定の故障励起条件の適合結果を表す故障励起関数を用いて、上記故障信号線に関する故障励起関数の値を計算し、上記計算された故障励起関数の値に基づいて上記故障信号線において動的故障が励起したか否かを判断する制御手段を備えたことを特徴とする故障検査装置。
IPC (1):
G01R 31/28
FI (1):
G01R31/28 F
F-Term (9):
2G132AA01 ,  2G132AB01 ,  2G132AC03 ,  2G132AC09 ,  2G132AD06 ,  2G132AG01 ,  2G132AG11 ,  2G132AH07 ,  2G132AL11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (3)
  • 特開平4-062487
  • 集積回路のテスト容易化設計
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2003-095388   Applicant:株式会社半導体理工学研究センター
  • 特開平4-244979
Article cited by the Patent:
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