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J-GLOBAL ID：200903019251356732

活性成分及びそれを用いた感光性樹脂組成物

Inventor：
花畑 誠

About 花畑 誠

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佐藤 正洋

About 佐藤 正洋

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片山 淳子

About 片山 淳子

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北島 さつき

About 北島 さつき


Applicant, Patent owner：
株式会社関西新技術研究所

About 株式会社関西新技術研究所


Agent (1)： 鍬田 充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001370476
Publication number (International publication number)：2002287339
Application date： Dec. 04, 2001
Publication date： Oct. 03, 2002
Summary：
【要約】【課題】 高感度で高解像度のパターンを形成できる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 式(1)で表される活性金属アルコキシド又はその重縮合物、および式(2)で表される粒子から選択された活性成分を感光剤と組み合わせて感光性樹脂組成物を構成する。 (X)m-n-Mm-[(U1)p-(U2-Z)t]n (1) P-[(Y)s-{(U1)p-(U2-Z)t}]k (2)式中、Xは水素原子、ハロゲン原子、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基を示し、Mは価数mが2以上の金属原子を示し、U1は第1の連結ユニット、U2は第2の連結ユニットを示し、Zは光照射に起因して溶解度差を生じさせる基を示す。Pは微粒子担体を示し、Yはカップリング残基を示す。nは1以上の整数を示し、m>nであり、pは0又は1、tは1又は2、kは1以上の整数、sは0又は1である)
Claim (excerpt)：
感光性樹脂組成物を構成する感光剤と組み合わせて用いるための活性成分であって、下記式(1) (X)m-n-Mm-[(U1)p-(U2-Z)t]n (1)(式中、Xは水素原子、ハロゲン原子、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基を示し、Mは価数mが2以上の金属原子を示し、U1は第1の連結ユニット、U2は第2の連結ユニットを示し、Zは光照射に起因して溶解度差を生じさせる基を示す。nは1以上の整数を示し、m>nであり、pは0又は1、tは1以上の整数を示す)で表される活性金属アルコキシド又はその重縮合物、および下記式(2) P-[(Y)s-{(U1)p-(U2-Z)t}]k (2)(式中、Pは微粒子担体を示し、Yはカップリング残基を示し、kは1以上の整数であり、sは0又は1である。U1、U2、Z、p及びtは前記に同じ)で表される粒子から選択された少なくとも一種で構成される活性成分。
IPC (4)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (15)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB29 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (17)
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Cited by examiner (17)
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