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J-GLOBAL ID：200903024343819821
微細構造体の製造方法および微細構造体、ならびに記録装置の製造方法および記録装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003294398
Publication number (International publication number)：2005059167
Application date： Aug. 18, 2003
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：
【課題】 カーボンナノチューブなどの成長部をより微細な間隔で規則正しく配列させることができる微細構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 基板11に、触媒配置のための核として溝12を形成する。次に、基板11に、触媒物質14、例えば鉄(Fe)を付着させる。続いて、基板11に熱処理を行うことにより触媒物質14を溶融させて溝12に凝集させる。溝12により触媒物質14を確実に所望の位置に配置することができる。そののち、溝12にカーボンナノチューブを成長させる。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
基板に触媒配置のための核を形成する核形成工程と、
前記基板に触媒機能を有する物質を付着させる付着工程と、
前記基板に熱処理を行うことにより前記触媒機能を有する物質を溶融させて前記核に凝集させる凝集工程と、
前記触媒機能を有する物質を用いて前記核に成長部を形成する成長工程と
を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。
IPC (4)：
B82B3/00
, B82B1/00
, G11B5/65
, G11B5/855
B82B3/00
, B82B1/00
, G11B5/65
, G11B5/855
4G146AA11
, 4G146AD23
, 4G146AD28
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC46
, 5D006BB09
, 5D112AA03
, 5D112AA16
, 5D112AA18
, 5D112BD02
, 5D112FA01
, 5D112FA09
, 5D112GA02
, 5D112GA09
, 5D112GB01
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Article cited by the Patent：
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