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J-GLOBAL ID：200903027830929585

欠陥検査方法及びその装置

Inventor：
浦野 雄太

About 浦野 雄太

, 
中野 博之

About 中野 博之

, 
前田 俊二

About 前田 俊二

, 
宇都 幸雄

About 宇都 幸雄


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 井上 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005013472
Publication number (International publication number)：2006201044
Application date： Jan. 21, 2005
Publication date： Aug. 03, 2006
Summary：
【課題】 異物欠陥検査装置で、光検出器としてCCDセンサを用いる場合、光電変換により内部に発生した信号電荷を電圧に変換して読み出す際に電気的なノイズが発生し、微小な異物や欠陥からの反射散乱光を検出して得られる微弱な検出信号が電気的なノイズに埋もれてしまい、より微小な異物や欠陥を検出する上で障害となっていた。【解決手段】 光検出器として電子増倍型CCDセンサを用い、光電変換によって生じた電子を増倍した後に読み出すことにより、電気的なノイズに対して入力光による信号が相対的に大きくなるようにして、従来のCCDと比較してより微弱な光を検出することを可能にし、従来と比べて、より微小な異物や欠陥を検出できるようにした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
パターンが形成された被検査物に光を斜め方向から照射する照明手段と、 該照明手段によって光を照射された前記被検査物からの反射散乱光を受光して検出する固体撮像素子を有する検出光学系手段と、
IPC (4)：
G01N 21/956 ,  H01L 21/66 ,  H04N 5/335 ,  H01L 27/148
FI (4)：
G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  H04N5/335 F ,  H01L27/14 B
F-Term (35)：
2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051EB01 ,  2G051ED11 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA17 ,  4M118CB05 ,  4M118FA06 ,  4M118FA42 ,  4M118GA02 ,  4M118GD03 ,  5C024CX41 ,  5C024CY44 ,  5C024GY01 ,  5C024HX47 ,  5C024JX37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特開昭62-89336号公報
Cited by examiner (15)
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