感放射線性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：久保山隆 , 中山亨 , 榎本雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004010240
Publication number (International publication number)：2004240422
Application date： Jan. 19, 2004
Publication date： Aug. 26, 2004
Summary：

【課題】透明硬化樹脂パターン用途において高い平坦化性能や高い感度等を兼ね備え、透明硬化樹脂パターンの生産性の高い感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)が、γ-ブチロラクトンを全溶剤中に5〜60重量%の範囲で含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)が、γ-ブチロラクトンを全溶剤中に5〜60重量%の範囲で含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F7/004 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/40 , H01L21/027

FI (6)：

G03F7/004 501 , G03F7/033 , G03F7/038 501 , G03F7/038 503 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R

F-Term (22)：

2H025AA01 , 2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC52 , 2H025BD22 , 2H025BD23 , 2H025BE01 , 2H025CB43 , 2H025CC03 , 2H025FA01 , 2H025FA12 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

透過型液晶表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-211779 Applicant：シャープ株式会社
液晶表示体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-057946 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (10)

ネガ型感放射線レジスト組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-013458 Applicant：東レ株式会社
ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-192140 Applicant：住友化学工業株式会社
感放射線性塗布組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-092612 Applicant：三菱化学株式会社

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