Pat
J-GLOBAL ID:200903063632512373
感光性樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007129640
Publication number (International publication number):2008286877
Application date: May. 15, 2007
Publication date: Nov. 27, 2008
Summary:
【課題】 本発明の目的は、厚さ精度、高さ均一性に優れ、かつ、光硬化後に接着性を有するため、製造工程が短縮できる、光反応性官能基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、酸発生剤(B)と、酸発生剤の作用により硬化反応可能な化合物(C)とを含む、感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】 光反応性官能基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、酸発生剤(B)と、酸発生剤の作用により硬化反応可能な化合物(C)とを、含む感光性樹脂組成物を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
光反応性官能基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、
酸発生剤(B)と、
酸発生剤の作用により硬化反応可能な化合物(C)とを、
含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4):
G03F 7/038
, G03F 7/004
, H01L 21/027
, C08G 59/32
FI (6):
G03F7/038 601
, G03F7/038 503
, G03F7/004 501
, G03F7/004 503Z
, H01L21/30 502R
, C08G59/32
F-Term (24):
2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BD23
, 2H025BE00
, 2H025CA09
, 2H025CC01
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J036AK08
, 4J036FA10
, 4J036FA11
, 4J036GA19
, 4J036GA21
, 4J036GA22
, 4J036GA23
, 4J036GA24
, 4J036GA25
, 4J036GA26
, 4J036HA02
, 4J036JA09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
撮像装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-146149
Applicant:アジレント・テクノロジーズ・インク
-
固体撮像装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-134543
Applicant:富士フイルムマイクロデバイス株式会社, 富士写真フイルム株式会社
Cited by examiner (9)
-
多環式コポリマーに基づく感光性組成物
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-519232
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-263474
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
感放射線樹脂組成物およびその利用
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-083147
Applicant:日本ゼオン株式会社
-
半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-284831
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
感光性樹脂組成物および半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-287298
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-287297
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-282905
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
低応力、高温フィルム用多環式ポリマーに基づく感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-136207
Applicant:プロメラス,エルエルシー
-
ネガ型レジスト組成物、レジストパターンの形成方法及び半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-093727
Applicant:富士通株式会社
Show all
Return to Previous Page