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J-GLOBAL ID：200903077980895945

複数の論理回路に対する故障診断方法

Inventor：
二階堂 正人

About 二階堂 正人

, 
鵜飼 友視

About 鵜飼 友視


Applicant, Patent owner：
NECエレクトロニクス株式会社

About NECエレクトロニクス株式会社


Agent (1)： 工藤 実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006300044
Publication number (International publication number)：2008116332
Application date： Nov. 06, 2006
Publication date： May. 22, 2008
Summary：
【課題】複数の論理回路に対して共通的な故障を抽出し、結果を表示する。外観検査で得た物理欠陥と論理診断で得た故障欠陥とを一致判定の距離パラメータを使用せずに正確に照合する。【解決手段】論理回路のテスト結果から取得されたフェイル情報に基づき論理回路の故障箇所を推定する。入力処理ステップとデータ抽出処理ステップと診断処理ステップと出力処理ステップとを備えた構成であり、入力処理ステップでは、故障診断ツールで得られる論理回路ごとの故障候補データについて、複数個の論理回路の故障候補データが入力され、データ抽出処理ステップでは、各論理回路の故障候補データから、故障候補データ内の項目が抽出され、出力処理ステップでは、診断処理で集計した結果が出力される。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
(a)複数の論理回路について故障診断ツールで得られた故障候補データに基づき、前記複数の論理回路のそれぞれの故障箇所を推定することと、 (b)前記複数の論理回路のそれぞれの前記故障候補データが取得される入力処理ステップと、 (c)前記複数の論理回路のそれぞれの前記故障候補データから所定のデータが抽出されるデータ抽出処理ステップと、 (d)前記抽出された所定のデータから故障候補データ名および故障候補データ数が集計される診断処理ステップと、 (f)前記ステップ(d)で集計された結果が出力される出力処理ステップと を具備する 論理回路故障診断方法。
IPC (2)：
G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01R31/28 F ,  H01L21/66 A ,  H01L21/66 Z
F-Term (8)：
2G132AA01 ,  2G132AB01 ,  2G132AC10 ,  2G132AL12 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA16 ,  4M106DA15
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (12)
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