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J-GLOBAL ID：200903078600265177

レーザ装置

Inventor： 大槻 朋子 ,  並木 周
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン ,  古河電気工業株式会社
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999258126
Publication number (International publication number)：2001085771
Application date： Sep. 10, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 小型化でメンテナンスが容易であると共に、レーザ光の照射を開始する際に光サージによって出力が変動しないレーザ装置を提供する。【解決手段】 単一波長発振レーザ11からのレーザ光LB1を光変調素子12を介して光ファイバー増幅器13に供給し、ここで増幅されたレーザ光をスプリッタ14,16-1〜16-m等を介して分岐して、光増幅ユニット18-1〜18-nを用いて増幅して光ファイバー・バンドル19に束ねた後、波長変換部20によって紫外光のレーザ光LB5に変換する。紫外光を出力する期間では、光変調素子12からパルス光を出力し、紫外光を出力しない期間においても、光変調素子12から紫外光を出力する期間と平均出力がほぼ同じでピークレベルがかなり低いレーザ光を出力する。

Claim (excerpt)：

紫外光を発生するレーザ装置であって、赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、該レーザ光発生部から発生されるレーザ光の変調を行う光変調部と、該光変調部から発生されたレーザ光を増幅する光ファイバー増幅器を有する光増幅部と、該光増幅部によって増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部とを備え、前記光変調部は、前記紫外光を出力する期間中は前記レーザ光発生部からのレーザ光をパルス変調して前記光増幅部に供給し、前記紫外光を出力しない期間中にも前記紫外光の出力に実質的に影響を与えない範囲で前記光増幅部に増幅可能な波長域の光を供給することを特徴とするレーザ装置。

IPC (9)：

H01S 3/10 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/23

FI (10)：

H01S 3/10 A ,  B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 C ,  B23K 26/08 K ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/23 ,  H01L 21/30 515 B

F-Term (49)：

2H079AA02 ,  2H079AA13 ,  2H079BA01 ,  2H079CA24 ,  2H079HA04 ,  2H079KA18 ,  2H097BB01 ,  2H097BB02 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA04 ,  4E068CB01 ,  4E068CD03 ,  4E068CD08 ,  4E068CK01 ,  5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DA26 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ04 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM04 ,  5F072MM20 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072TT05 ,  5F072TT16 ,  5F072TT28 ,  5F072YY09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (18)

• ダミー光入力制御型光ファイバ増幅方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-297223   Applicant：住友セメント株式会社
• 光増幅システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-148388   Applicant：古河電気工業株式会社
• 2ビ-ム結合を用いた光エネルギ-の増幅方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-110778   Applicant：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
• 露光装置用光学系および露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-337591   Applicant：株式会社ニコン
• レーザ光発生方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-074891   Applicant：ソニー株式会社
• 光デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-039026   Applicant：ソニー株式会社
• 光増幅器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-204485   Applicant：富士通株式会社
• 特開平2-257124
  
• 半導体露光装置、投影露光装置及び回路パターン製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-320557   Applicant：ソニー株式会社, 株式会社ニコン
• 紫外レーザー光源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-140805   Applicant：株式会社ニコン
• レーザーシステム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-262247   Applicant：金門電気株式会社, 日新電機株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所
• レーザー光源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-310763   Applicant：株式会社ニコン
• ダミー光入力制御型定利得光ファイバ増幅方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-007812   Applicant：住友セメント株式会社
• 特開平1-111391
  
• 光ファイバ増幅装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-154259   Applicant：日本電気株式会社
• レーザマーカ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-192861   Applicant：株式会社日立製作所
• 波長安定化光源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-295858   Applicant：三井石油化学工業株式会社
• レ-ザ装置並びにこのレ-ザ装置を用いた露光装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-063256   Applicant：株式会社ニコン

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• UV generation by frequency quadrupling of a Yb-doped fiber amplifier