原子間力顕微鏡装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：谷義一 , 阿部和夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008052663
Publication number (International publication number)：2009210361
Patent number：5071901
Application date： Mar. 03, 2008
Publication date： Sep. 17, 2009
Claim (excerpt)：

【請求項1】試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によって振動振幅が振幅変調を受けるカンチレバと、前記カンチレバを前記カンチレバの共振周波数で振動させるための振動用ピエゾ素子と、前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、前記光検出手段により検出された前記カンチレバの先端の変位を振幅変復調するための振幅変復調器と、前記試料を載せたピエゾ素子と、前記試料表面と前記カンチレバの先端との間の距離を一定に保ち、前記ピエゾ素子に入力電圧を入力し、行きの走査の間に表面形状を計測し、前記ピエゾ素子の出力電圧および前記ピエゾ素子の入力電圧から、前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備え、前記コントローラは、前記行きの走査と同一ラインの帰りの走査において、前記行きの走査で記憶された前記表面形状をフィードフォワード信号として用いて制御を行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。

IPC (3)：

G01Q 10/06 ( 201 0.01) , G01Q 30/06 ( 201 0.01) , G01Q 60/34 ( 201 0.01)

FI (3)：

G01Q 10/06 , G01Q 30/06 , G01Q 60/34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平2-265155
形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-298454 Applicant：ディジタルインストルメンツ,インコーポレイテッド
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-356799 Applicant：日本電子株式会社