固体表面の平坦化方法及びその装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中尾直樹 , 中村幸雄 , 草野卓 , 稲垣稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-514263
特許番号：特許第3994111号
出願日： 2004年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガスクラスターイオンビームを用い固体表面を平坦に加工する方法において、前記ガスクラスターイオンビームの照射過程の少なくとも一部の期間において前記固体表面と前記ガスクラスターイオンビームがなす照射角度を30°未満にして前記ガスクラスターイオンビームを照射する過程を含むことを特徴とする固体表面の平坦化方法。

IPC (2件)：