文献
J-GLOBAL ID:201402200700784143   整理番号:14A0476599

GaNパワー素子のための絶縁膜界面制御

Control of Insulated Gate Interfaces for GaN-based Power Transistors
著者 (3件):
資料名:
巻: EDD-14  号: 39-49  ページ: 13-16  発行年: 2014年03月13日 
JST資料番号: Z0910A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
本論文では,GaNパワー素子において,絶縁膜/AlGaNの界面特性の評価の例を報告した。AlGaN/GaNヘテロ接合にAl2O3絶縁ゲートを形成し,Al2O3/AlGaN界面の電子準位密度を推定した。界面準位からの電子放出時定数を考慮する数値計算により,実験的C-V曲線を説明することができた。さらに,fitting法と光支援C-V法により界面準位密度分布を算出し,ICPエッチングされたAlGaN面に形成した試料では,エッチングを行わない場合と比較して,界面準位密度が約1ケタ程度増加することが明らかになった。
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス材料  ,  トランジスタ 
引用文献 (8件):
もっと見る
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る