熱硬化性反射防止性コーティングおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-509244
公開番号（公開出願番号）：特表平11-511194
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】広領域の露光波長用の、熱硬化性反射防止性コーティングおよびそれを製造および使用する方法を開示する;前記コーティングは活性硬化触媒、2.0より大きいエポキシ官能価より誘導されたエーテルもしくはエステル結合、染料-グラフト化ヒドロキシル官能性オリゴマーおよびアルキル化アミノプラスト架橋剤を含み、それら全てが低ないし中沸点アルコール含有溶媒中にある。

請求項（抜粋）：

a. 予め選択されたフェノール-もしくはカルボン酸-官能性染料と、

IPC (3件)：

C09D163/00 , C08G 59/14 , C08G 59/40

FI (3件)：

C09D163/00 , C08G 59/14 , C08G 59/40

引用特許：

審査官引用 (19件)

平坦化材料及び平坦化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-204341 出願人：東ソー株式会社
特開平4-296594
反射防止膜形成用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-146524 出願人：日本合成ゴム株式会社

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