特許
J-GLOBAL ID：200903007952757784
中間スタンプを用いたパターン複製装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-365443
公開番号（公開出願番号）：特開2007-165812
出願日： 2005年12月19日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】スタンプや基板のダメージがなく忠実性の高いインプリントシステムを提供する。【解決手段】テンプレート(1)からパターンを基板の目標表面に転送するための二工程処理を実行するための装置であって、第一インプリントユニット(200)内のテンプレートでのインプリントにより、例えば、可塑性ポリマーフォイル(10)から中間ディスクを形成することにより動作する。供給装置(410)が中間スタンプを第二インプリントユニット(300)へ供給するように動作され、第二インプリントユニットで中間スタンプが基板の目標表面でのインプリントに用いられる。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
テンプレートの構造化された表面のパターンを基板の目標表面に転送するための装置であって、
第一中間スペースを有して互いに対向するように配された第一組の協働主部と、前記第一スペースを調整し、第一インプリント工程で、前記テンプレートの前記パターンをディスクの受け取り面に転送するように動作可能な第一プレス装置とを含む第一インプリントユニットと、
第二中間スペースを有して互いに対向するように配された第二組の協働主部と、前記第二スペースを調整するよう動作可能な第二プレス装置とを含む第二インプリントユニットと、
前記第一中間スペースから前記第二中間スペースへディスクを移動するよう動作可能な供給装置とを備えた装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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