重ね合わせ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：古谷史旺 , 森俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-067861
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250578
出願日： 2006年03月13日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】プロジェクション処理(信号ノイズの低減)を行う場合でも、画像から選択した直線部の傾きやコントラストの不均一に影響されず、正確に重ね合わせずれ量を求める。【解決手段】基板11の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を取り込む手段26と、第1マークの第1直線部から生成した第1信号波形と、第2マークの第2直線部から生成した第2信号波形とを用いて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を求める手段27とを備える。そして、少なくとも一方の信号波形を生成する際に、直線部の異なる複数の箇所で、それぞれ、該直線部を測定方向に横切ったときの明暗変化を抽出し、該明暗変化のコントラストを互いに揃えた後、該明暗変化を測定方向と垂直な方向に積算する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を取り込む取込手段と、前記画像に現れた前記第1マークの直線部のうち、予め定めた測定方向と交差する第1直線部に基づいて、該第1直線部を前記測定方向に横切ったときの明暗変化に関わる信号波形を第1信号波形として生成する第1処理手段と、前記画像に現れた前記第2マークの直線部のうち、前記測定方向と交差する第2直線部に基づいて、該第2直線部を前記測定方向に横切ったときの明暗変化に関わる信号波形を第2信号波形として生成する第2処理手段と、前記第1信号波形と前記第2信号波形とを用いて、前記第1マークと前記第2マークとの前記測定方向における重ね合わせずれ量を求める第3処理手段とを備え、前記第1処理手段は、前記第1直線部の異なる複数の箇所で、それぞれ、該第1直線部を前記測定方向に横切ったときの明暗変化を抽出し、該明暗変化を前記測定方向と垂直な方向に積算することで、前記第1信号波形を生成し、前記第2処理手段は、前記第2直線部の異なる複数の箇所で、それぞれ、該第2直線部を前記測定方向に横切ったときの明暗変化を抽出し、該明暗変化のコントラストを互いに揃えた後、該明暗変化を前記垂直な方向に積算することで、前記第2信号波形を生成することを特徴とする重ね合わせ測定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01N 21/956 , G01B 11/00

FI (4件)：

H01L21/30 525R , G01N21/956 A , G01B11/00 H , H01L21/30 525W

Fターム (44件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA14 , 2F065AA20 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL22 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ45 , 2F065RR02 , 2F065RR05 , 2F065TT08 , 2F065UU07 , 2G051AA51 , 2G051AB20 , 2G051BA08 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051DA15 , 2G051EC02 , 2G051ED23 , 5F046EA04 , 5F046EA12 , 5F046FA03 , 5F046FA10 , 5F046FB09 , 5F046FB12 , 5F046FB13 , 5F046FC04

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-272466 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (14件)

重ね合わせ測定装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-192828 出願人：株式会社ニコン
位置検出装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-005938 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-278402

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