特許
J-GLOBAL ID：200903022370550319
インプリント用の型部材とその作製方法、およびこれらに用いられる積層基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-087557
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266193
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】 所望の段部の位置を制御できる、更には、型部の全ての段について、その段部の高さを揃えた、インプリントに直接用いられる型部あるいはインプリントに直接用いられる型部の原版となる型部材を提供する。同時に、そのような型部材の作製方法を提供する。【解決手段】 前記型部は、所定の同一元素から成り、かつ、同一の結晶構造を有する所定の材質をベースとし、且つ、所定のエッチング工程におけるエッチングレートが異なる所定材質ベース層を、N層以下の層数で積層した構造のもので、前記各所定材質ベース層とベース基板とは、ベース基板側から順に所定のエッチング工程におけるエッチングレートが小さい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ベース基板の1面側に所望のN段の段部からなる型部を配設した、インプリントに直接用いられる型部材あるいはインプリントに直接用いられる型部材の原版となる型部材であって、前記型部は、所定の同一元素から成り、かつ、同一の結晶構造を有する所定の材質をベースとし、且つ、所定のエッチング工程におけるエッチングレートが異なる所定材質ベース層を、N層以下の層数で積層した構造のもので、前記各所定材質ベース層とベース基板とは、ベース基板側から順に所定のエッチング工程におけるエッチングレートが小さいことを特徴とするインプリント用の型部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B81C5/00
出願人引用 (3件)
審査官引用 (9件)
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