特許
J-GLOBAL ID:200903026061861828

フォトイメージャブル導波路組成物及びそれから形成される導波路

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 千田 稔 ,  辻永 和徳 ,  橋本 幸治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-401215
公開番号(公開出願番号):特開2004-184999
出願日: 2003年12月01日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
【課題】光学導波路を形成するために好適な光学的損失特性を有する感光性組成物、本組成物により光学導波路を形成する方法、光学導波路及び1以上の光学導波路を含む電子デバイスを提供する。【解決手段】式(R1SiO1.5)及び(R2SiO1.5)の単位を含むシルセスキオキサンポリマー、(ここでR1及びR2は異なる、有機側鎖基であり、ヒドロキシ基を含まず、2以上の官能性末端基である);及びフォト活性成分を含む。シルセスキオキサンポリマーの溶解度は、組成物が水性現像溶液中で現像可能であるよう化学線での露光により変更される。【選択図】なし
請求項(抜粋):
式(R1SiO1.5)及び(R2SiO1.5)の単位(ここでR1及びR2は異なり、置換又は非置換の有機側鎖基であり、ヒドロキシ基を含まない)、及び2以上の官能性末端基を含むシルセスキオキサンポリマー、;並びに フォト活性成分 を含む、光学導波路を形成する場合の使用のために好適なフォトデファイナブル組成物であって、 ここで、該シルセスキオキサンポリマーの溶解度は、前記組成物が水性現像溶液中で現像可能であるよう化学線での露光により変更される、前記組成物。
IPC (2件):
G02B6/12 ,  G02B6/13
FI (2件):
G02B6/12 N ,  G02B6/12 M
Fターム (5件):
2H047KA03 ,  2H047PA02 ,  2H047PA22 ,  2H047QA01 ,  2H047QA05
引用特許:
審査官引用 (16件)
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