特許
J-GLOBAL ID：200903034947983960
ポジ型感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350719
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179301
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】本発明は遠紫外領域の光を用いたハーフミクロンリソグラフィーに対応できる高解像力を有し、しかも露光と露光後ベークとの間の引置き時間に対する安定性が良好な化学増幅型ポジ型フォトレジストを提供することにある。【解決手段】 構造単位(I)を含む樹脂A、構造単位(II)を含む樹脂Bおよび光または電子線などの放射線により酸を発生する化合物Cを主成分として含有することよりなるポジ型感放射線性組成物。【化1】(上記式中、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表わし、R4及びR5は水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を表わし、R6及びR10は炭素数1〜10のアルキル基を表わす。また、R4とR5或いはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3〜10の環を形成していてもよい。)
請求項（抜粋）：
構造単位(I)を含む樹脂A、構造単位(II)を含む樹脂Bおよび光または電子線などの放射線により酸を発生する化合物Cを主成分として含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(上記式中、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表わし、R4及びR5は水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を表わし、R6及びR10は炭素数1〜10のアルキル基を表わす。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3〜10の環を形成していてもよい。)
IPC (4件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
