特許
J-GLOBAL ID：200903058090815222

インプリント・リソグラフィのための複合スタンパ

発明者：
アンドリュー・エム・ホモラ

アンドリュー・エム・ホモラ について


出願人/特許権者：
コマーグ・インコーポレーテッド

コマーグ・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-365869
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183985
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】インプリント・リソグラフィのための複合スタンパを提供すること。【解決手段】スタンパは、硬質材料からなるパターン形成された層、および圧縮可能な材料の背面層を有する。背面層は、エラストマからなることができる。スタンパは、磁気記録ディスクの製造のために基板上に配置されるエンボス可能可能な層をインプリントするために使用できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
硬質材料からなり、背面を有するパターン形成された層と、 圧縮可能な材料からなり、前記パターン形成された層の背面に結合された背面層とを備えるスタンパ。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G11B5/84 ,  G11B7/26
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  G11B5/84 Z ,  G11B7/26 511
Fターム (10件)：
5D112AA01 ,  5D112AA02 ,  5D112AA05 ,  5D112GA00 ,  5D112GA02 ,  5D121CA01 ,  5D121CA07 ,  5D121CB01 ,  5D121DD06 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第6517995号明細書
審査官引用 (14件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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