特許
J-GLOBAL ID：200903059846346350
圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ、ならびに圧電体積層体の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 伊奈 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-113493
公開番号（公開出願番号）：特開2007-287918
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】基体上にニオブ酸カリウムナトリウム層が形成された圧電体積層体を提供する。【解決手段】圧電体積層体100は、基体1と、前記基体1の上方に形成されたテンプレート層3aと、前記テンプレート層3aの上方に形成されたニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層3bと、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、
前記基体の上方に形成されたテンプレート層と、
前記テンプレート層の上方に形成されたニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層と、を含む、圧電体積層体。
IPC (9件)：
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/24
, H02N 2/00
, H03H 9/25
, H03H 9/17
, H03H 3/02
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101B
, H01L41/22 A
, H02N2/00 B
, H03H9/25 C
, H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, B41J3/04 103A
2C057AF51
, 2C057AG44
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 5J097BB11
, 5J097FF01
, 5J097HA01
, 5J097HA03
, 5J097KK01
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108HH05
, 5J108KK01
, 5J108MM08
出願人引用 (1件)
-
弾性表面波基板
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-250777
出願人：山之内和彦
審査官引用 (14件)
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