圧電体素子、液体吐出ヘッド及びこれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-005116
公開番号（公開出願番号）：特開2004-104066
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】圧電体薄膜に適した配向度を安定して再現性良く得ることにより、安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子及びこれを用いたインクジェト式記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】下部電極42上にTi膜を形成した後、圧電体薄膜43を構成する圧電体層を複数回成膜し、この圧電体薄膜43上に上部電極44を形成して圧電体素子40を製造する。圧電体層を複数回成膜するにあたり、初回の成膜における焼成温度を、他の回の各成膜における焼成温度より高い温度とする。また、初回の成膜における焼成時間を、他の回の各成膜における焼成時間より長い時間とする。これにより100面配向度を向上させ、下部電極の酸化やPbの拡散も防ぐことができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

積層された下部電極上にTi膜を形成した後、圧電体層を複数回成膜して100面優先配向したPZTである圧電体薄膜を形成し、この圧電体薄膜上に上部電極を形成する圧電体素子の製造方法であって、前記圧電体層を複数回成膜するにあたり、初回の成膜における焼成温度を、他の回の各成膜における焼成温度より高い温度とする、圧電体素子の製造方法。

IPC (10件)：

H01L41/22 , B05B17/04 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , H01L21/28 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/24

FI (9件)：

H01L41/22 Z , B05B17/04 , H01L21/28 301R , H01L41/18 101D , H01L41/22 A , H01L41/08 J , H01L41/08 D , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

Fターム (22件)：

2C057AF51 , 2C057AF93 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057AG48 , 2C057AP16 , 2C057AP57 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4D074AA01 , 4D074BB02 , 4D074DD04 , 4D074DD05 , 4D074DD32 , 4D074DD42 , 4M104BB04 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104FF13 , 4M104GG01 , 4M104HH08 , 4M104HH09

引用特許：

審査官引用 (12件)

強誘電体薄膜素子の製造方法及び加熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-173609 出願人：セイコーエプソン株式会社
強誘電体薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-162703 出願人：ローム株式会社
圧電体素子およびその製造方法ならびにそれを用いたインクジェット式プリンタヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-326947 出願人：株式会社関西新技術研究所

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