特許
J-GLOBAL ID:200903062165929560
感刺激性組成物及び化合物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-022318
公開番号(公開出願番号):特開2004-233661
出願日: 2003年01月30日
公開日(公表日): 2004年08月19日
要約:
【課題】高感度、高解像力で、良好なプロファイルを示す感刺激性組成物、また、200nm以下、特にF2レーザー光(157nm)の露光波長において高感度の感光性組成物、更には、これらの組成物を提供すべく、外部からの刺激により酸またはラジカルを発生する新規な化合物を提供する。【解決手段】外部からの刺激により酸またはラジカルを発生するカルボニル基とフッ素原子を有する化合物(A)を含有する感刺激性組成物、特に、化合物(A)が、カチオン部とアニオン部を有する化合物であり、カチオン部にカルボニル基とフッ素原子を有する化合物であることを特徴とする感刺激性組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
外部からの刺激により酸またはラジカルを発生するカルボニル基とフッ素原子を有する化合物(A)を含有する感刺激性組成物。
IPC (4件):
G03F7/004
, C07C381/12
, C07D333/46
, H01L21/027
FI (4件):
G03F7/004 503A
, C07C381/12
, C07D333/46
, H01L21/30 502R
Fターム (17件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB03
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CC17
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB92
, 4H006TN10
, 4H006TN30
, 4H006TN40
引用特許:
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