結合型渦電流センサによって膜厚を測定するための方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-547053
公開番号（公開出願番号）：特表2007-517218
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】結合型渦電流センサによって膜厚を測定する。【解決手段】膜厚測定における測定点の大きさおよびノイズを最小化するための方法が提供される。この方法は、導電膜を伴う第1の表面を向くように、第1の渦電流センサを配置する工程から開始する。この方法は、導電膜を伴う第2の表面を向くように、第2の渦電流センサを配置する工程を備える。第1および第2の渦電流センサは、共通の軸を共有しても良いし、あるいは互いにオフセットされても良い。この方法は、更に、第1の渦電流センサおよび第2の渦電流センサを交互に給電する工程を備える。本発明の一態様では、第1の渦電流センサと第2の渦電流センサとの間の給電の切り替え間に、遅延時間が組み込まれる。方法は、また、第1の渦電流センサからの信号と第2の渦電流センサからの信号との組み合わせに基づいて、膜厚の測定値を計算する工程を備える。装置およびシステムも提供される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

膜厚測定における検査スポットの大きさおよびノイズを最小限に抑えるための方法であって、導電膜を伴う基板の第1の表面を向くように、第1の渦電流センサを配置する工程と、前記第1の表面と反対側にある、前記導電膜を伴う前記基板の第2の表面を向くように、第2の渦電流センサを配置する工程と、前記第2の渦電流センサが給電されない間に前記第1の渦電流センサが給電され、前記第2の渦電流センサが給電される間に前記第1の渦電流センサが給電されないように、前記第1の渦電流センサおよび前記第2の渦電流センサを交互に給電する工程と、前記第1の渦電流センサからの信号と前記第2の渦電流センサからの信号との組み合わせに基づいて、膜厚の測定値を計算する工程とを備える方法。

IPC (3件)：

G01B 7/06 , H01L 21/306 , H01L 21/304

FI (3件)：

G01B7/06 M , H01L21/306 M , H01L21/304 622S

Fターム (10件)：

2F063AA16 , 2F063AA45 , 2F063BB06 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063DD03 , 2F063GA08 , 2F063LA09 , 5F043DD16 , 5F043EE40

引用特許：

審査官引用 (21件)

特開昭54-025755
特開昭61-066104
特開昭62-144002

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