特許
J-GLOBAL ID：200903084642428343

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-069030
公開番号（公開出願番号）：特開2004-302445
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】 本発明の目的は、良好なプロファイルを示し、露光後加熱(PEB)依存性が小さい感光性組成物を提供する。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物(A成分)の含有量:a質量部、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂(B成分)の含有量: b質量部、性能調整剤(C成分)の含有量:c質量部、及び、溶剤(D成分)の含有量:d質量部の関係が、以下の式(1)を満足し、式(2)及び(3)の少なくともいずれかを満足する感光性組成物。 尚、cは0であってもよい。 (a+b+c)/(a+b+c+d)=0.03〜0.10 (1) [(A成分の分子中の芳香環数+1)×a]/(a+b+c) (2) =0.05〜0.80 a/(a+b+c)=0.03〜0.20 (3)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物(A成分)、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂(B成分)、性能調整剤(C成分)及び溶剤(D成分)を含有する感光性組成物であって、A成分、B成分、C成分及びD成分の含有量、a、b、c及びd(質量部)が、式(1)及び(2)を満たすことを特徴とする感光性組成物。ただし、cは0であってもよい。 (a+b+c)/(a+b+c+d)=0.03〜0.10 (1) [(A成分の分子中の芳香環数+1)×a]/(a+b+c) (2) =0.05〜0.80
IPC (2件)：
G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (2件)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (14件)：
2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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