特許
J-GLOBAL ID：200903085155542382

レーザー加工用粘着シート

発明者：
浦入 正勝

浦入 正勝 について

, 
日野 敦司

日野 敦司 について

, 
松尾 直之

松尾 直之 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-358213
公開番号（公開出願番号）：特開2006-160996
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、高精細・高精度に加工でき、かつ分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用粘着シートを提供すること。また、前記レーザー加工用粘着シートを用いて生産効率よくかつ容易にレーザー加工品を製造する方法を提供すること。【解決手段】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用粘着シートにおいて、前記粘着シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、前記基材は、波長300nm以下の紫外レーザー光を照射した際のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.006〔(μm/pulse)/(J/cm2)〕以下であることを特徴とするレーザー加工用粘着シート。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用粘着シートにおいて、前記粘着シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、前記基材は、波長300nm以下の紫外レーザー光を照射した際のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.006〔(μm/pulse)/(J/cm2)〕以下であることを特徴とするレーザー加工用粘着シート。
IPC (5件)：
C09J 7/02 ,  B23K 26/18 ,  C09J 121/00 ,  C09J 133/00 ,  H01L 21/301
FI (6件)：
C09J7/02 Z ,  B23K26/18 ,  C09J121/00 ,  C09J133/00 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 B
Fターム (31件)：
4E068CF00 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004FA08 ,  4J040CA001 ,  4J040DF031 ,  4J040EB112 ,  4J040EB132 ,  4J040EC002 ,  4J040EF181 ,  4J040EF281 ,  4J040FA141 ,  4J040FA291 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA12 ,  4J040GA22 ,  4J040GA25 ,  4J040GA27 ,  4J040HC22 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA16 ,  4J040NA20 ,  4J040PA20 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (13件)
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